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访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展******

　　(第五届进博会)访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社上海11月6日电 题：访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社记者 李佳佳

　　元宇宙体验、光刻机“开箱”视频和H5虚拟课堂，备受外界关注的全球半导体行业供应商ASML在第五届中国国际进口博览会上，首次通过“元宇宙”平台，带来沉浸式的光刻体验，彰显前沿科技。

　　自1988年交付首台步进式光刻机以来，ASML进入中国市场已有三十余年，见证、亲历和支持了中国半导体产业的发展。

　　“今年是ASML第四次参展进博会，我们希望借助进博会的平台不断地展现开放共赢、合作发展的理念。”ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波表示：“ASML一直秉持开放与专注，以‘开放式创新’和对光刻技术的专注，持续支持半导体行业的发展。在进博会，我们可以与全行业甚至跨行业的企业和合作伙伴加深交流，共商合作前景。”

　　首次在进博会亮相的“ASML元宇宙”之旅给此间观展者带去了身临其境的独特体验。在ASML元宇宙空间里，观展者可以“亲身”进入无尘室，近距离接触神秘的光刻机，更可以结合影视级效果的3D裸眼视频，了解光刻机的内部基本原理——光源经过照明模组投向掩模版，再穿过掩模版上的电路图案，通过投影物镜将影像聚焦到晶圆上。“元宇宙”中还有生动的全方位光刻解决方案动画和丰富多样的科普视频，令观展者沉浸式了解更多有关ASML的故事。

　　“每年我们都会思考以什么样的形式参加进博会”，沈波说，去年，进博会的集成电路专区设立，凸显了外界对产业的关注和重视。希望未来在设立专区的基础上，能够增加宣传和引导，比如举办一些专题或者小论坛，以加深外界对行业的了解。

　　其实，除了光刻机，ASML在芯片制造的成像环节也会提供全方位的光刻解决方案，从光刻机设备本身到计算光刻软件，再到芯片生产过程的量测、缺陷的检查等，ASML均有涉猎。“我们更想跟大家讲讲怎么帮助客户在芯片生产的过程中，在我们的环节上做出足够大的工艺窗口，让芯片生产的质量、精度能够控制得更好，或者让客户的技术进步更顺畅地向前。这是我们今年进博会主要的出发点。”

　　当前，中国已是全世界最大的成熟制程市场，这俨然成为行业的共识。“中国在整个半导体产业链中扮演非常重要的角色，这是所谓‘不确定性中的确定性’。在这种确定的情况下，中国该怎么发展成熟制程，怎么把成熟制程做好，怎么在全球的半导体产业链里把自己重要的角色扮演好，从这个角度看，中国市场的潜力是很大的，中国有全世界最大的终端市场，最活跃的应用市场，终端市场、应用市场反过来可以推动上游设计、制造方面的发展创新。”

　　说起行业未来的发展，沈波坦言，半导体行业自身有一定的周期，有起有伏不是新鲜事。但是从半导体行业过去多年的发展和对未来的预期来看，整体向上的趋势是在的，“只要大趋势在，就会要求有更多的计算、更多的存储、更多新的应用支持，就会带动半导体行业的需求量向上”。(完)

兴安岭深处“慢火车”的守护者******

　　【春运进行时】

　　光明日报记者 张士英 光明日报通讯员 刘 杨

　　深冬的内蒙古绰河源镇，寒风凛冽。

　　1月7日8时30分，气温降到零下27℃。中国铁路哈尔滨局集团有限公司齐齐哈尔工务段新绰源线路车间线路工王磊正和7名工友穿着厚重的羽绒大衣，脚上套着毡疙瘩，一字排开蹲在线路中心处理冻害。

　　位于大兴安岭中段的绰河源镇群山围绕，全年无霜期仅有90天，冬季最低气温可达零下40℃，由博克图镇至塔尔气镇的铁路线，每天通行一对公益“慢火车”，是大山深处近万名林业职工和家属走出大山的唯一一条铁路线。

　　今年春运，6239次“慢火车”迎来返乡高峰，而此时正是冻害发生最频繁的时段。

　　268处，这是近一个月以来，工队处理的冻害数量。“博林线周围地下水极为丰富，线路又在群山中穿行，冬季水遇低温结冰膨胀，就会导致基床不均匀隆起产生冻害，造成列车颠簸甚至影响行车安全。”今年是王磊在绰河源度过的第四个春运，虽然环境艰苦，但谈起自己的工作他特别自豪，“工区管辖范围内的冻害是普通线路的50倍以上，我们每天6点出发，争分夺秒地赶在列车通过前处理好，让返乡过年的旅客安全、平稳地乘坐列车。”

　　冬天的山区尤为寂静，撬棍与钢轨碰撞的响声在树林中越传越远，此时作业组已经持续蹲着作业1个多小时，大家的帽子、睫毛全都挂了霜。在队伍中间的王磊，刚开始蹲在线路中心，时间一长腰酸腿麻，他感觉上不来气，干脆跪在轨枕上。

　　“小磊，你去撒垫板，数量我写在轨枕上了。”工长解子学向王磊喊，处理冻害是个慢功夫，需要在轨底垫上一定厚度的橡胶垫板，使凹凸不平的线路变得平顺。长时间的下蹲，哪怕是从业多年的工长也有点吃不消。工长和工友轮流换下王磊，让他去干点轻活。

　　11时36分，对讲机传来6239次列车接近的消息，工队迅速清理现场、摆放扣件、复紧螺栓，仅一上午，就用光了500多个胶垫。一套工序结束后，工长解子学整个身子趴到钢轨上，耳朵和脸几乎贴到地面，眯着眼睛目测检查维修后的轨道平顺度，用道尺测量无误后这处冻害就算完活了。

　　工队下道接车后，也到了午休时间，拿出车间准备的韭菜鸡蛋和猪肉葱花馅饺子，王磊从麻袋中掏出几块垫板在积雪上压出一个座位，和工队围成一圈，有说有笑地吃起午饭。“等忙完春运，我就能回家吃我老妈包的饺子了。”王磊说，饭后他们还要赶到下一个养护线路。

　　《光明日报》（ 2023年01月09日 10版）

　　（文图：赵筱尘 巫邓炎）